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產品資料

光學數碼顯微鏡

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 光學數碼顯微鏡
產品型號: DSX1000數碼顯微鏡
產品展商: 奧林巴斯
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

DSX系列數碼顯微鏡將我們**的光學技術與先進的數字技術融為一體。DSX1000 數碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。DSX1000 數碼顯微鏡憑借有保證的準確度和重復性,可實現更快速的故障分析。


光學數碼顯微鏡  的詳細介紹

DSX 系列數碼顯微鏡將我們**的光學技術與先進的數字技術融為一體。DSX1000 數碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單,只要放上樣品,就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報告自動生成等一系列操作。

您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要,改善檢驗的工作流程。鏡頭數量增加至 15 個,涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法,對各種樣品進行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進行± 90°的自由角度調節,從而滿足對各種復雜外形樣品的任意角度觀察。另外,新開發的算法可以實現更快的 3D 圖像采集,與奧林巴斯傳統數碼顯微鏡相比,速度快了近十倍。*后,我們將根據每位用戶的工作環境校準顯微鏡,以幫助用戶實現**、高效的觀察和測量。

DSX1000顯微鏡

主要特點

  • 放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉式載物臺。

  • 可迅速切換物鏡和六種觀察方式。

  • 遠心光學系統保證了在整個放大范圍內的測量準確度。

1、放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉式載物臺

DSX1000 數碼顯微鏡新增了 5 個物鏡,物鏡總數達到 15 個。20-7,000X 的放大倍率范圍實現了**觀察,而長工作距離物鏡則實現了對不規則樣品的觀察,例如電路板和機加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。 

可調節的頭部和載物臺

顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉± 90°

使用高分辨率長工作距離的物鏡

長工作距離使用戶能夠觀察不規則形狀的電子基板。 

207,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比

2、可迅速切換物鏡和六種觀察方式

顯微鏡的電動變焦光路結合了先進的觀察功能,可實現六種觀察方法和對比度增強功能:明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強功能可以突出樣品表面的不規則和輪廓形貌。例如,此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規則形狀與細微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。

太陽能電池圖像對比

(左圖:明場觀察,右圖:偏光觀察)

單側光線照射突出了表面的不規則形狀。該項技術適用于觀察不規則形狀、扭曲的樣品和槽口。

集成電路 (IC) 芯片圖像對比

(左圖:常規;右圖:帶對比度增強功能)

色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。

3、遠心光學系統保證了在整個放大范圍內的測量**性。*

汽車制造商、精密設備和其他產品制造商必須**測量和分析產品的規格,以證明產品的**性。DSX1000 數碼顯微鏡使用遠心光學系統,在整個放大范圍內圖像失真極低,實現了有保證的準確度和重復性的高精度測量。為了確保準確度,在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后,奧林巴斯的技術人員將根據客戶使用環境對每臺顯微鏡進行校準。 

遠心光學系統和非遠心光學系統的圖像采集對比圖

改變聚焦位置不會改變圖像大小。

此新聞稿中的公司名稱和產品名稱分別是其對應公司的商標或注冊商標。

*必須由奧林巴斯進行校準。



DSX1000數碼顯微鏡規格

 

DSX10-SZH DSX10-UZH
光學系統 光學系統 遠心光學系統
變焦倍率 10X (電動)
變焦放大方式 電動
校準 自動
鏡頭附件 快速切換,編碼型鏡頭附件,自動更新放大倍率和視野信息
*大總放大倍率(顯示器上) 7000X
工作距離 (W.D.) 66.1 mm – 0.35 mm
準確度和重復性(X-Y 平面)*1  放大倍率準確度:3%
放大倍率重復性:± 2% = 3σ n -1
重復性(Z 軸)*2 重復性(高度): σ n – 1 ≤ 1 μm
照像機 圖像傳感器 1 / 1.2 英寸,235 萬像素彩色 CMOS
冷卻 珀爾帖冷卻
幀速率 60 fps(*大)
常規 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
精細 不可用 1200 × 1200 (1: 1) / 1600 × 1200 (4: 3)
超精細 不可用 3600 × 3600 (1: 1) / 4800 × 3600 (4: 3)
照明器 彩色光源 LED
壽命 60,000 小時(設計值)
觀察方法 BF (明場) 標準
OBQ (偏斜) 標準
DF (暗場) 標準
LED 光源四分區環形照明
MIX (明場 + 暗場) 標準
明場 + 暗場 同時照明
PO (偏光) 標準
DIC (微分干涉) 不可用 標準
對比度增強 標準
景深擴展 不可用 標準
透射照明 標準*3
聚焦裝置 驅動方式 電動
行程 101 mm (電動)

*1 必須由奧林巴斯或代理商的服務技術人員進行校準。為了保證 XY 的準確度,需要用 DSX-CALS-HR(校準標樣)進行校準。
*2 當使用 20X 或以上的物鏡時。
*3 需要使用選配件 DSX10-ILT。

物鏡 DSX10-SXLOB DSX10-XLOB UIS2
物鏡 *大樣品高度 50 mm 115 mm 145 mm
*大樣品高度(自由角度觀察) 50 mm
齊焦距離 140 mm 75 mm 45 mm
鏡頭附件 鏡頭附件一體形 可用
總放大倍率 20X – 1400X 42X – 5600X 23X*4 – 7000X
實際視場 19,200 μm – 270 μm 9,100 μm – 70 μm 17,100 μm – 50 μm
適配器 擴散照明裝置(可選) 可用 不可用
防反射照明裝置(可選) 可用 不可用
鏡頭附件 安裝物鏡數量 1 個(物鏡和鏡片附件一體型) 2 個
物鏡盒 可保存三個物鏡附件

*4 使用 MPLFLN1.25X 時的總放大倍率

載物臺 DSX10-RMTS DSX10-MTS U-SIC4R2
XY 載物臺:電動/ 手動 電動(帶旋轉功能) 電動 手動
XY 行程 行程優先模式:100 mm × 100 mm
旋轉優先模式:50 mm× 50 mm
100 mm × 100 mm 100 mm × 105 mm
旋轉角度 行程優先模式:±20°
旋轉優先模式:±90°
不可用
旋轉角度顯示 不可用
承重 5 kg (11 lb) 1 kg (2.2 lb)

 

機架 正置式機架 傾斜式機架
Z 軸行程 50 mm (手動)
傾斜觀察角度 不可用 ±90°
傾斜角度顯示 不可用
傾斜方式 不可用 手動、固定/ 解除手柄

 

顯示器 23 英寸平板顯示器
分辨率 1920 (H) × 1080 (V)

 

全系統 正置式機架系統 傾斜式機架系統
重量(鏡架、觀察頭、電動載物臺、顯示器和控制臺) 43.7 kg (96.3 lb) 46.7 kg (103 lb)
功耗 100 – 120 V / 220 – 240 V, 1.1 / 0 .54 A, 50 / 60 Hz


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