白光干涉儀普遍應(yīng)用在眾多行業(yè)檢測中,對于現(xiàn)代越來越復(fù)雜的工藝檢測,也是心有余而力不足,德國NanoFocus AG研發(fā)的3D共聚焦顯微鏡的誕生,二者之間的區(qū)別優(yōu)劣勢有哪些呢？

白光干涉儀優(yōu)點：

1.大范圍測量（數(shù)平方毫米）

2.Z軸分辨率能達到0.1nm，水平分辨率0.3μm

3.快速測量，10s以內(nèi)，但測量前需校正傾斜度

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡：

Z軸分辨率為1nm，沒有白光干涉儀高，但是測量到亞微米及以上尺寸時精度和白光干涉基本相同。

白光干涉儀的問題點:

a)無法檢測到陡峭角度——當(dāng)使用干涉儀測量陡峭角度的對象時，由于干涉圖案集中在這些區(qū)域，無法準(zhǔn)確的收集信息。（通常傾角35°）

使用白光干涉儀進行觀察電磁波干擾導(dǎo)致無法測量曲面

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢

檢測到陡峭角度*大83°——共焦測距系統(tǒng)，它利用白光反射強度可以測量有大角度特性的形狀，并且不會有噪點形狀。

使用共聚焦顯微鏡進行觀察光會穿過凹槽檢測曲面

白光干涉儀的問題點:

a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好，測量是難以執(zhí)行，因此，很多樣品并不能測量。如果反射光在參考面和測量面有巨大差異，那么樣品也是不能測量的。（反射率必須大于4%的樣品才能測量）

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢:

a)全反射率測量——可吸收反射光范圍廣，幾乎對樣品沒有特殊要求，一般顯微鏡可以看的，就可以看。（反射率0%-100%都能測量）

如果參考面的反射率為 100%，同時測量面的反射率也約等于 100%，則會顯示清晰的干涉條紋。